•产品特点 高纯度(>99.999%) 化学惰性 低放气率 高温下热膨胀小 温度均匀性优越 可急速升降温 形状可定制 最高使用温度可达1600℃(真空) •产品特点 溅射镀膜、CVD领域的基板加热 电子显微镜试样加热 气体加热的喷嘴加热器 金属源蒸发加热 •主要性能参数
形状
尺寸
厚度/高度(mm)
电阻(Ω)
盘形
0.5"-15"
Max 4.0
5-35
筒形
1"-12"
Max 400
3-25