• 제품 특징

                             순도 99.999% 이상

                             높은 강도, 고온에서 변형 적음

                             우수한 두께 균일성

                             화학적 비활성: 고온에서 산·염기와 화학 반응 없음

                             고 저항율 및 절연성

                             코팅층과 기재의 밀착력이 우수하여 박리 현상이 적음

                             고온에서의 가스 방출률이 극히 낮음

                             높은 밀도로 흑연 휘발을 효과적으로 방지

                                              • 규격 매개변수

                             원형 웨이퍼: 최대 φ500mm

                             사각 판: 최대 400x400mm

                             두께: 최대 5mm

                             밀도: 최대 2.22g/cm³