• 제품 특징

                             고순도(>99.999%)

                             화학적 비활성

                             낮은 가스 방출률

                             고온에서 열팽창 적음

                             우수한 온도 균일성

                             급속 승·강온 가능

                             형상 맞춤 제작 가능

                             최대 사용 온도: 진공 환경 1600℃

                                              • 적용 분야

                             스퍼터 증착, CVD 공정의 기판 가열

                             전자현미경 시편 가열

                             기체 가열용 노즐 히터

                             금속 원료 증발 가열

                                                    • 주요 성능 매개변수